晶圆划片切割中,总会遇到各种情况,而最常见的就是工件的崩边问题,崩边包括:正崩,背崩,掉角及裂痕等。而有很多种不同因素都会导致崩边的产生,比如工件表面情况、粘膜情况、冷却水、刀片等。
公司创办至今,一直将自主创新放在重要位置,并高度重视研发工作。2018年,国内外主流6英寸划片机一直采用同步带、涡轮蜗杆等机械辅助传动转台方案。经过数月的调查和不断的试验,通过大量的数据积累和不断的设计改进,博捷芯团队成功地攻克了直驱电机转角结构方案,使转角定位精度及稳定性大幅度提高,一举达到国际先进水平。在以公司 型号LX-6366为代表(兼容6〜12寸晶圆,双头切割,自动修复法兰,CCD双镜头,重复精...
博捷芯 设备有多种类型:LX3252 6英寸 、LX3352 12英寸 、LX3356 8-12英寸兼容 、LX6366全自动双轴划片机、LX6636全自动单轴划片机。晶圆划片机切割应用行业主要用于半导体晶圆、集成电路、QFN、发光二极管、miniLED、太阳能电池、电子基片等的划切,适用于包括硅、石英、 氧化铝、氧化铁、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石和玻璃等材料。
硬脆材料划片的实现依赖于锐利的金刚石刀片和高精度、高刚性的划片装置,以及高精度的空气静压主轴等来实现。在了解硬脆材料的性能和划片机理的基础上,作为设备制造厂家对硬脆材料划片工艺的研究,就显得十分必要和紧迫,对工艺参数的研究和优化,能够支持设备及半导体行业的发展。砂轮划片机的划片质量和划片效率,与划片工艺参数有十分密切的关系.在划片硬脆材料中,划切道宽度与崩边的大小,主要是受主轴转速、刀片、划片速度...
一、 行业介绍划片机是使用刀片或通过激光等方式高精度切割被加工物的装置,是半导体后道封测中晶圆切割和WLP切割环节的关键设备。随着集成电路沿大规模方向发展,划片工艺呈现愈发精细化、高效化的趋势。从19世纪60年代采用划线加工法依赖于人工操作的金刚刀划片机,到1968年英国LP公司发明的金刚石砂轮划片机采用研磨的工艺替代了传统的划线断裂工艺,再到后续的自动化划片机进一步提升了划片的效率。目前划片机广...
博捷芯晶圆切割机:从磨砂处理到芯片“诞生”晶圆切割也叫划片,是将晶圆经过磨砂处理后,切割成一个个单独的芯片,为后续工序做准备的过程。晶圆切割机首先要进行磨砂工序,去除在前端工艺中受化学污染的部分,减少晶圆厚度;在进行磨砂处理之前,需将UV胶带覆盖在晶圆正面,这样可以避免晶圆在切割过程中受到损伤;UV胶带黏着性高,可以防止晶圆脱落,之后用真空卡盘桌吸住,研磨晶圆的背面使其变薄。在磨砂处理后,继续在晶圆...
随着光电技术、微加工技术和电子信息技术的迅猛发展,以集成电路(IC)为代表的电子元器件(如LED芯片、PC芯片、电容器、电阻器、传感器和PCB板等)向微型化、高集成度、小尺寸化以及精密化方向发展。为满足装置轻薄、低功耗设计需求,晶圆厚度越来越薄、晶圆尺寸越来越大、芯片之间的线宽、切割槽以及芯片尺寸都进一步减小。为提高划切效率,降低废品率以减小芯片制造成本,对划切技术提出了更高的要求,要求 ...
集成电路从电子管到超大规模集成电路的方向发展,IC集成度越高,伴随对封装技术的要求也是越发的精细化。划片机是IC封装生产过程中的关键设备之一,用于将含有很多芯片的晶圆切割成一个个晶片颗粒,其切割加工能力一定程度上决定了芯片封装的成品率与性能。IC晶圆,一般由硅(Si)构成,分为6英寸、8英寸、12英寸规格不等,晶片就是基于wafer制造而成。IC需要将Wafer上的一个子单元即一个晶片颗粒从晶圆体上分割得到。I...
138-2371-2890